第269章 让人振奋的天才构想(1 / 2)

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“稳态微聚束光源确实能用于光刻,不过我们如今只是实验验证了这一概念,距离具体的应用阶段恐怕还需要大量的实验研究。”

教授办公室内,赵翔听完徐源的话,虽心中非常意动却也不得不摆出事实。

作为自己提出并成功验证的概念,他当然希望能为国家解决眼下困境。

毕竟目前国内半导体行业是个什么情况,只要接触网络都会知道。

确实急需解决高端芯片制造问题。

海外阿麦斯公司,使用的方法是用高能电子束轰击特定成分的气体,从而对晶圆片进行蚀刻,但国内现在的技术还做不出这种东西。但借助稳态微聚束,可以直接把电子束从零速度开始加速。

直到加速到很高很高。

那么所有速率的电子束全都有了,要用哪个速率的就放到特定的位置就行。

原本同步辐射在加速器领域,是个相对来说比较讨厌的事情。

因为会白白消耗加速器的能量,拖累粒子的进一步加速。

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