第八百一十四章：唉声叹气（2 / 2）

在成为国际顶级的光刻机巨头之后，AS-ML又一次“十分幸运”的接收到了EUV遗产。

这个事情还要从1997年英特尔和美利坚能源部牵头成立EUVLLC联盟的时候说起。

当时EUV技术发展缓慢，并且需要的资源太多，所以在“公平公开”的竞争当中，美利坚最终选择了当时技术储备还不强的AS-ML加入EUV联盟。

ASML由此获得了美利坚甚至是世界上最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造等相关技术的优先使用的资格，同时AS-ML也十分“懂规矩”的将自己的生产、接受监管的权限交给了山姆大叔政-府。

数年时间，EUVLLC联盟的研发人员发表了数百篇论文，大幅推进了EUV技术的研究进展，证明了EUV光刻技术的可行。

但就在果实即将成熟的时候，EUVLLC联盟竟然神奇的解散了。

而联盟的成果，则被英特尔和AS-ML进行了瓜分，从联盟解散的世纪之初，到2010年，AS-ML吸收完联盟遗产，并且在美利坚资本和政-府的大力帮助下，成功生产出第一台EUV光刻机——NXE3100的EUV光刻机，，并且将其交付给了台积电进行芯片代工生产。

至此，全球硅基半导体便以AS-ML马首是瞻，其每年生产的光刻机都是各大半导体企业竞相追捧的宝贝。