第1015章 稚子问硅(2 / 2)
我可以肯定的说,从理论上来说,确实在还原炉里多放几根硅棒会增加得率。
但是目前摆在我们面前的难题是,如果多放,硅棒与硅棒之间会互相干扰,最后反而导致得率下降。”
卿云不好意思的赧然笑着,而后一副不死心的模样继续问着,“没法改进吗?”
他身后的陈一权此时开口解释着,“还原炉里增加硅棒数量的难点是很多的。
比如热场和流场的均匀性,增加硅棒数量会影响炉内的热场和流场分布。
再比如反应气体的分布,硅棒数量的增加会直接影响反应气体的分布,导致硅棒表面温度不均,影响多晶硅的沉积质量。”
陈一权一边说着,一边让卿云自己将手臂放在硅棒后面,同时让沈俊用文件不停的扇着风,模拟着气体的流动。
“这种解释不太科学,但形象。影响的因素有很多,不是那么简单的。
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